摘要: 纳米薄膜材料是一种二维的纳米材料,其在厚度方向的尺寸处于纳米量级(0.1～100nm)。由于这种特殊的结构,纳米薄膜材料可以在光、电、热、磁等方面表现出优异的性能,是一种先进的功能材料。那么,纳米薄膜材料是怎么制备出来的?其原理是什么?纳米薄膜的性能如何测试?纳米薄膜制备出来后又如何应用于器件产品?……文章以磁控溅射FeNi薄膜为例,概要介绍了磁控溅射的镀膜方法,以及薄膜制备与性能测试分析的关键仪器设备,并对FeNi薄膜在传感器领域中的应用进行了简单介绍。