摘要: <正> 一、钼制光学反射镜 功率为20kW的CO2和CO激光器,用以传递和聚焦的谐振系统的反射镜是金属钼制成的。钼反射镜的反射系数为99.3％,在反射镜表面涂覆有金属银,为防止反射镜表面被氧化并提高其抗腐蚀性能,又在银表层上涂敷一氧化硅和稀土氧化物。反射镜直径为80mm,其实物精度要求表面的几何尺寸与设计尺寸误差不大于0.31μm;要求不平整度的误差不大于15nm。反射镜可以是平面形的,亦可是球面形的。 该反射镜备有微渠道高效冷却系统,用以导出局部的过热负荷（300W/cm2）,冷却系统的载热体可采用