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我国大直径硅单晶技术领先世界
杨威
Yang Wei
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<正> 1997年8月30日设在北京有色金属研究总院的半导体材料国家工程研究中心,成功地拉制出我国第一根直径12英寸(300mm)等径长度400mm、晶体重量81kg的直拉硅单晶,这标志着我国大直径单晶的研究又跨上一个新的台阶,已进入世界领先行列。 北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心,是我国半导体材料研究开发的主要基地,分别于
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