摘要: 电子背散射衍射（EBSD）技术广泛用于材料研究，在晶粒取向、应变研究、晶粒度测定、物相鉴定、再结晶、失效机理分析等方面发挥了重要的作用。本文尝试利用EBSD技术对Inconel 625合金的组织进行分析，结果显示固溶后的Inconel 625合金其组织为等轴晶，晶内有大量孪晶。且EBSD可用3种方法统计晶粒尺寸，分别是晶粒形貌直接显示法、表格统计法以及柱状图统计法。EBSD统计晶界角度可知，Inconel 625合金经轧制固溶后，两种类型的晶界数量很多，一种是角度<5°的小角晶界，出现频率约为18%；一种是角度在60°附近的孪晶界，出现频率约为13.8%。EBSD极图和反极图分析显示，Inconel 625合金经轧制固溶后，（111）面及邻近晶面在试样的横向上有轻微的择优取向，（001）面及邻近晶面在试样的法向上有轻微的择优取向。